潔凈實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、精密儀器、制造等各行各業(yè)中,以及特殊領(lǐng)域的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室在溫度、相對濕度及潔凈度方面的巨大優(yōu)勢,它的重要性也來越多的被人們所認(rèn)識和接受。
空氣潔凈度應(yīng)劃分為四個等級
等級
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每立方米空氣中≥0.5微米塵粒數(shù)
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每立方米空氣中≥5微米塵粒數(shù)
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100級
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≤35*100(3.5)
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1000級
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≤35*1000(35)
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≤250(0.25)
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10000級
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≤35*10000(350)
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≤2500(2.5)
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100000級
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≤35*100000(3500)
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≤2500(25)
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潔凈室的形態(tài)一般分為:
1、非單向同流潔凈區(qū)
2、單向流潔凈區(qū)(水平、垂直流向)
3、合流潔凈區(qū)
4、環(huán)形/隔離裝置
注:混合潔凈區(qū)是1S0標(biāo)準(zhǔn)提出的,即把實(shí)際早已存在的非單向流潔凈室設(shè)置了局部的單向流的潔凈工作臺/層流罩對關(guān)鍵部位進(jìn)行“點(diǎn)”或“線”的保護(hù),以減少單向流潔凈區(qū)的面積。
根據(jù)工藝特點(diǎn)進(jìn)行布置,在滿足使用前提下求得經(jīng)濟(jì)合理,可分為幾下幾類:
1、開放式:用于工藝過程對各區(qū)潔凈度等級需求差別不大的情況下:
優(yōu)點(diǎn):靈活性好,便于調(diào)整、變更、設(shè)計簡單、空氣處理系統(tǒng)單一。
缺點(diǎn):高運(yùn)行費(fèi)用,對于單向流型回風(fēng)通道占空間大。
2、套件式:各潔凈區(qū)按工藝的工序及潔凈度等級要求分隔與連通,并進(jìn)行各區(qū)間的壓差控制。注:用于實(shí)驗(yàn)室類還是要求各自系統(tǒng)獨(dú)立,不共享。
3、隧道式:是以“線”保護(hù)代替“面”保護(hù)的典型。
優(yōu)點(diǎn):節(jié)能,防火分隔簡單,安全。
缺點(diǎn):設(shè)計時需仔細(xì),麻煩。施工難度高,靈活性差。
4、微環(huán)形+開放式潔凈室
5、模塊化潔凈室:是近年來發(fā)展快的。